彩色滤光片

　　 

　　 液晶间隔柱，简称PS，其工序是彩色滤光片工艺中*后一道步骤，它的作用是在将彩色滤光片基板和TFT基板结合在一起时控制液晶层的厚度，并使保持两基板的平行[3]（如图1所示）。 

　　 在彩色滤光片液晶间隔柱制造过程的在线微观检查中发现有液滴状缺陷，反射光可见，透射光不可见（如图2所示），其发生率在10%左右，该不良的高发大大影响了产品的良率，对公司的利益造成了影响。 

　　2 分析与实验 

　　 

　　2.1 调查 

　　 由于缺陷主要表现为液滴状，主要怀疑为显影机造成，通过EDS分析显影液残留成份与PD、CD及SD段显影液成份做对比，发现残留与CD、SD段显影液成份接近，由此分析缺陷产生的主要原因是由于PS显影机中显影液未被洗净，残留在基板上造成的（如图3所示）。 

　　 

　　2.2 工程改善实验 

　　 针对显影机中显影液残留的情况，提出了以下几个实验。 

　　 （1） 缺陷异常时延长SD段显影时间，更换显影Filter。PS1产线2011年4月8日采取了更换CD段过滤器，4月9日采取了更换SD段过滤器方法，结论：无明显效果。PS2产线4月4日采取了SD段显影时间由47s延长到49s的方法，结论：无明显效果。该措施无效（如图4所示）。 

　　 （2） 清洁显影机和按照一定生产数量进行Flushing。Flushing是指显影机在无生产状态时，用显影液与纯水在一段时间内对显影机进行冲洗，以达到将残留在机台内的显影液冲洗掉的效果。缺陷异常时进行清机和Flushing，从实际来看，该措施有效（如图5所示）。但PS1产线在累计生产17K后，该措施实施后没有明显效果。 

　　 在之后的生产中采用显影机待机状态进行Flushing。禁止PS显影机处于停机状态，在待机状态对显影机做Flushing。采取该措施后，PSR突发异常大于10%的情况没有再发生（如图6所示），证明该措施有一定的效果。 

　　 其中分别采用了改变Flushing周期、使用不同显影液Flushing的实验。 

　　 （1） 改变Flushing周期，实验采用生产2个批次产品进行一次Flushing，生产4个批次产品进行一次Flushing，各进行一次Flushing一周试验，由于随着生产量的增加，PSR发生率逐渐上升，因此不能判断其差异性（如图6中IFG所示）。 

　　 （2） 使用SD显影液对CD显影段进行Flushing。采用SD显影液进行Flushing，PS1第一次Flushing后，效果不好，随后进行第二次Flushing后，有明显效果（如图7所示），进行第三次Flushing后有一定效果，但效果没有第二次明显。对比三次在PS1上进行的SD Flushing，第一次实施SD Flushing后显影液残留发生率较高，随后实施了第二次SD Flushing，第二次实施后结果较好，应该属于两次SD Flushing的累计效应。 

　　 

　　3 结 论 

　　 

　　 此类缺陷与显影机有关，显影液残留是其根本原因。从实验结果来看，Flushing是控制显影液残留发生率的有效手段，而Flushing时间的长短、频率、Flushing的用液都会影响Flushing的效果，所以*优的Flushing方法还需要更进一步的实验才能得到。